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GT ASF 粉色蓝宝石可用于生产出传输速度最高的LED晶圆

     

GT Advanced Technologies Inc.公布了蓝宝石材料质量对LED晶片制程影响的一项案例研究。该案例评估了蓝宝石颜色对 LED 制造工艺的影响。研究表明,无论来源如何,所有蓝宝石均在核心处显现出颜色。GT 高级蓝宝石熔炉 (ASF™) 材料的粉色并不表示宝石含有杂质,粉色 ASF 蓝宝石对 LED 制造工艺没有不良影响,也无需采取其它步骤或花费更多成本去除粉色。

      知名的第三方分析实验室做了辉光放电质谱(GDMS)分析,研究证明GT ASF材料的浅粉色调不是由杂质引起的。该项研究还证实,GT ASF蓝宝石的粉色只是暂时的,将在准外延片制造过程中的标准退火工艺中完全消除。此外,研究表明,在所检验的样品中,GT ASF 粉色蓝宝石材料能够用于生产出吸收率最低、传输速度最高的LED晶圆。

      GT ASF蓝宝石的优良品质不仅获得了第三方分析数据的证明,一些著名的、长期的LED客户的直接反馈也验证了这一点。这些客户很多都是领先的晶片制造商和MOCVD生长领域的厂家,还有很多需要极高品质蓝宝石材料的行业市场领先者。

      蓝宝石材料和设备部门副总裁兼总经理 Cheryl Diuguid 说:“ GT 为 LED 行业提供蓝宝石已超过 12 年时间。这些研究进一步验证了我们长久以来从材料客户那里听到的积极反馈——ASF蓝宝石生长材料拥有卓越的质量和性能,尽管它有一点粉色。近期案例研究的发现证实了我们长久以来所了解到的,即 GT 的 ASF 工具可生产出质量最好的蓝宝石材料,并且表现出对 LED 制造商来说最为重要的特质。 包括只有少量或没有气泡这类严重缺陷,表面粗糙度 (Ra)、总厚度变动 (TTV)、弯曲度和弧度以及最终的高晶圆产量等关键 LED 晶圆参数方面表现良好。”

      作为全球多晶硅铸锭炉占绝对优势的设备厂商,GTAT在光伏设备领域占有举足轻重的地位。GT AT过去的历史已经证明,它在多晶硅材料生产和光伏设备领域是全球的领导者,也是技术的革新者。公司已帮助很多中国光伏客户走向了世界舞台,国内几乎所有大型的多晶硅客户都采用了GTAT的设备。公司于2010年7月收购蓝宝石生产商Crystal Systems,从传统的太阳能行业逐渐扩张至LED行业等高增长市场。

      “综合GT公司和Crystal Systems公司的优势,GT 开发了行业领先的ASF™蓝宝石长晶炉解决方案。ASF™ 长晶炉实现了系统高产出,有效帮助降低成本,为持续降低每毫米的生产成本提供了有效的产品路线图。” GTAT市场传播策划总监 Jeff Nestel-Patt 表示“蓝宝石衬底尺寸在不断的发展,目前LED的尺寸是2英寸,未来的发展趋势是4英寸和6英寸。这就需要在设计蓝宝石长晶炉的时候就考虑到升级服务。在产品不断升级时,我们的设备已经做了充足的准备,为客户提供了更大的升级空间。客户只需在现有的设备上进行升级,而不需要购买新的设备。这个模式是GTAT在光伏领域已经实现的,我们也将成功的把它复制到LED领域。这样只需要将客户的炉子操作配方进行改进,炉子的硬件不需要改进,客户直接可以做更大的锭”。

      GTAT公司的客户95%都在亚洲地区,中国及台湾地区、韩国企业是其最主要的客户。GTAT的目标是为客户提供一个低成本的、长远的、稳定的、可靠的解决方案。GTAT自2002年开始在亚洲开展业务。作为一家设备供应商,公司从那时起已在帮助这个地区的早期采用企业建立光伏和多晶硅制造业务方面发挥了重要作用。如今,在这些公司中,中国大陆、韩国和台湾的很多公司已经发展成为这个地区最大的制造商,他们采用GTAT的产品和技术来提高生产力和降低制造成本。

      

      

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