企业新闻详细内容

Aixtron CVD系统开始生产大尺寸石墨烯

      材料来源:semiconductor-today

Aixtron SE位于德国亚琛附近的Herzogenrath,作为GIMMIK项目(适用于微电子应用的200mm晶圆上的石墨烯加工)的一部分, 由Aixtron SE开发,建造和安装了一种用于处理石墨烯和六方氮化硼(hBN)的新型工业级化学气相沉积反应器(CVD),现已投入生产大尺寸石墨烯层。


基于对喷嘴式CVD系统现有知识的掌握,专为此应用开发的反应器能够达到这些材料工业应用所需的产品规格。


GIMMIK项目会推动石墨烯和hBN应用在工业上,因此必须在工业要求下评估石墨烯层的生产。石墨烯和hBN的高质量是沉积和集成工艺生产的基础,合作伙伴们正在开发能够持续保证高品质的办法。


Aixtron开始为合作伙伴生产石墨烯 / hBN层并对相关工艺进行优化。该项目的参与者有IHP研究中心-莱布尼兹创新微电子研究所,英飞凌,Protemics和LayTec公司以及亚琛工业大学。 Aixtron主要负责协调项目。


支持石墨烯/ hBN的工业应用

Aixtron公司研发副总裁兼亚琛工业大学教授Michael Heuken博士说,“在安装和测试了新的CVD系统之后,我们迈出了决定性的一步……我们已经拥有了特定的系统,因此可以研发具备必要尺寸和质量的晶片层。这对于微电子和传感器技术市场中的应用至关重要,在这个重要的研究项目中,我们已经准备好朝向新器件,新应用以及新产品继续前进。”


Aixtron认为,在开发创新性产品和实现由气候危机引起的能源效率方面,石墨烯和hBN可能是决定性驱动力。晶体管,传感器和光子器件之类的广泛应用是可能的。由于其极高的电荷载流子迁移率,石墨烯提供了制造截止频率在太赫兹(THz)范围内的射频晶体管的可能性。节能高频电子设备并非天方夜谭。Heuken说:“因此,对于市场对高能源效率的显著需求,石墨烯和CVD生长的hBN将做出重大贡献。”


改善能源效率的潜力

石墨烯不仅可以用于汽车领域的车辆安全传感器,在移动应用程序中(例如智能手机,手表)也发挥着越来越重要的作用。 Aixtron表示,石墨烯是在诸如磁性传感器,麦克风压力传感器或光学传感器等产品中获得竞争优势的重要基石,石墨烯可用作功能性和市场差异化组件。


最后不得不提,晶片级石墨烯和硅光子器件的全新组合是可实现的。我们可以创造出热稳定性高而且占用空间紧凑的石墨烯调制器以及与当前光子集成组件(硅和III / V半导体)相比性能更加卓越的光电检测器。


GIMMIK项目是由德国联邦教育与研究部(BMBF)资助(资助号:03XP0210A)。


声明:本篇文章属于原创,拒绝转载,如果需要转载,请联系我们,联系电话:0755-25988571。



上一篇:Transphorm筹资1500万美... 下一篇:科锐推出新型Wolfspeed...