Picosun提高LED和OLED生产效率

事实证明，Picosun集团用Picosun P-300BV ALD系统可显着提高其LED和OLED客户的生产效率。

最近的测试表明，ALD工艺周期的缩短和相同膜厚下沉积的晶圆数量的增加，可以使生产率提高近100％。

以100片晶圆为一批时，每月产量可以达到2万片以上。该数字基于4英寸100片晶圆，> 20000 WPM，<1％1sigma WiW，<1％1sigma WtW，<1 % 1sigma BtB（120 nm TMA + H2O @ 200degC）。

同时，根据该公司的数据，在晶圆内、晶圆间以及批次间进行测量时，就薄膜厚度均匀性而言，工艺质量一直保持在优秀的水平上（<1％1sigma）。

“ Picosun ALD解决方案已成为大批量ALD制造的标准。PICOSUN P-300BV ALD系统专门设计用于生产LED和OLED。凭借我们在ALD领域的经验和深厚的专业知识，我们将不断努力以将总成本降至最低，并确保为我们的客户提供未来保障。”Picosun集团工业业务部副总裁Juhana Kostamo表示。