Edwards 推出新型低温泵

新型低温泵的设计是为了在两次再生之间保持稳定一致的真空性能

Edwards Vacuum 推出了一种用于半导体应用的新型低温泵，即 CTI-Cryogenics On-Board IS 320F XVS 低温泵，旨在提供市场上最可靠、性能最好的低温泵。

新型低温泵的设计是为了在再生之间和泵的整个使用寿命期间保持稳定一致的真空性能。提供稳定的工艺真空与提高的工艺产量是一致的。连同最高的氢泵送速度，它适用于要求苛刻的离子注入应用。

集成在低温泵中的智能系统控制可确保更好的工艺质量、真空一致性和正常运行时间，同时提供实时系统信息以优化阵列温度控制。通过自动适应不断变化的热/气体负载条件来提高真空质量。

On-Board IS 320F XVS 与所有 On-Board IS 低温泵系统以及 IS-1000、IS-2000V 和 IS-1800 XVS 压缩机兼容。

战略产品经理 Paul Amundsen 表示：“Edwards 致力于提供减少对环境影响的产品，On-Board® IS 320F XVS 低温泵也不例外。通过将我们的新型低温泵与 On-Board IS 变速氦气压缩机结合使用，与使用定速氦气压缩机相比，客户的能耗可降低多达 44%。”

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