季刊 2017年 第3期 原子层沉积 氧化镓器件 UV LED SiC高压MOSFET MOS单元 发射极 栅 源极 n-基区 n-基区 n-缓冲层 收集极 漏极 溅射优异的GaN 新型固态 光电倍增管