用于LED制造的金属有机物前躯体

用于LED制造的金属有机物前躯体

      在美国加州Santa Clara 于2011年2月22-24日召开的照明战略（SL）会议上，SAFC Hitech公司的首席技术执行官Ravi Kanjolia曾提到了金属有机物（MO）材料的供应问题以及化合物半导体制造商目前所采用的技术。在半导体硅器件制造中，化合物半导体制造商为了减少拥有成本（CoO）而采用的最佳手段便是实现生产自动化，它可以提高晶圆片之间的一致性，尽可能减少人工来操作或处理各种危险性材料，以及可以进行实时的在线检测。关于前躯体材料的提纯问题，他告诉与会者，已经有了专门的技术，例如已经发展了对加合物的提炼技术，以取得最终的杂质去除水平。

      在与SolidState Technology杂志记者的的交谈中，Kanjolia就应用于LED制造中的金属有机物（MO)前躯体材料的供需问题进行了详细的阐述。在金属有机物化学气相沉积MOCVD工艺中使用量最大的MO材料是三甲基镓（TMG）。他说道：直到2009年，三甲基镓（TMG）的需求量一直都能得到满足，不过到了2010年时就产生了供不应求的问题。金属有机物（MO）材料供应商通过提升它们的工艺及启动工艺改进，估计将会在2011年末将其产能提升到令人满意的水平。在2011年整个MO材料的供应可能将会呈现紧张，然后会有所缓解。他还说道，展望2012年或者以后，“我们在材料供应这个环节上将会看不到任何问题，因为几乎每个供应商都宣布其产能都将会增加。”

      同时Kanjolia也发现，前躯体材料的纯度对提升下一代LED器件的每瓦功率产生的流明照度（Ls/W）起着关键性的作用。另一项努力就是通过改进前躯体输送分配到工艺这一过程的本身来降低其拥有成本（CoO）。他提到：所采用的办法是对金属有机物（MO）材料采用大容量的输送分配系统，这种大容量的分配储存室储存了大量的金属有机物（比如三甲基镓TMG）材料，然后将前躯体材料以液体状态或者以蒸气状态输送分配到工艺反应室中—这样做得另一个优点是还能提高工艺的一致性，从而也提升了良品率。他还提到：这同时也大大地减少了健康和安全性的问题，因为这样能减少操作人员暴露在金属有机物有害环境中的机会。-D.V

      来源：半导体科技