作品简介:目前化合物半导体正在飞速发展,而性能的基础是纳米级的微结构,所以对微结构的显微分析尤为重要,其中扫描电镜和透射电镜是重要的分析、表征工具,近年来赛默飞电镜技术的发展,为化合物半导体行业的科研和品控提供了重要的技术支撑。