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技术 | Technology – 异构集成
InGaAs HEMT 和硅 CMOS 集
成用于毫米波通信
InGaAs HEMT 和硅 CMOS 的晶圆级集成可以实现毫米波电路，占用空间小，成
本低，性能高。
Sachin Yadav, Sang Xuan Nguyen, Fayyaz Singaporewala, Kenneth Lee，Eugene Fitzgerald, Xiao Gong, 新加坡 - 麻
省理工学院低能电子系统研究与技术联盟
16 化合物半导体 2019年第2期 www.compoundsemiconductorchina.net
