AIXTRON参与欧盟石墨烯及2D材料的试验生产线

作为石墨烯旗舰计划的一部分，2D材料的试验生产线将被欧盟委员会资助 ，将石墨烯和相关的2D材料集成到半导体平台中。

AIXTRON SE（FSE：AIXA）和AIXTRON Ltd（UK）是全球顶尖的半导体沉积设备供应商，同时也是石墨烯旗舰计划中2D材料试验生产线的主要合作伙伴。AIXTRON，作为一家设备制造商，将负责开发石墨烯及其相关材料所必需的合成设备和工艺。

为了扩大规模和并将石墨烯和2D材料集成到半导体器件中，AIXTRON将开发一个金属有机化合物化学气相沉淀（MOCVD）反应器（使用其专有的封闭耦合淋浴头®（CCS）），方便材料直接在300毫米的大基板上生长，这将使得工业级2D材料及其相关的异质结构可以在前端应用中原位生长。

为了实现有效的后端集成，AIXTRON将首创一套自动转移系统，将2D材料结构转移到器件晶圆上。这可以帮助试验生产线将石墨烯和2D材料大规模集成到逻辑，存储器，光子和传感器中。

二维试验生产线覆盖整个产业链

自2020年10月1日开始，欧盟委员会将为2D试验生产线提供30万欧元的资助至少4年。该项目将为生产集成了GRM的新型电子、光电子和传感器原型产品提供产业链的生态系统。

二维试验生产线由11个合作伙伴组成，涵盖了整个产业链，包括设备制造商，化学品和材料供应商以及试产线。项目将为企业、研究中心和学术界提供在已有工艺平台上研发基于2D材料的创新性技术的原型器件制造服务，以快速推动石墨烯和2D材料在晶圆级器件中的采用。

Michael Heuken教授是AIXTRON SE公司研发副总裁兼RWTH Aachen大学教授，他说道，“我们很高兴参与二维试验生产线。作为半导体设备技术30多年来的引领者，我们的核心是开发用于复杂材料沉积的创新解决方案，石墨烯和2D材料的沉积解决方案是我们产品组合的关键部分。这些材料需要非常精确的合成以及控制到一个原子层的厚度，我们将利用半导体生产平台中的技术使这种新型材料成功地应用于晶圆级器件。”

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