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k-Space为原位度量工具开发新的配件kSA Insight

      材料来源:semiconductor-today

美国密歇根州德克斯特市的k-Space Associates 公司制造了用于微电子,光电和光伏器件研究和生产的原位,异位和在线薄膜计量仪器,并为其度量工具增加了新的附件,kSA Insight。
 
这款仪器使研究人员和操作员在k-Space软件中实时查看晶圆和压板。成像系统使用高分辨率彩色摄像机,并且与所有k-Space薄膜计量软件兼容,即插即用。
 
图例左:不带保护罩的kSA Insight,可露出系统中的摄像头和光学元件。右图:防护罩已安装到位,因为该系统将在研究或生产环境中使用。
 
首席执行官 Darryl Barlett 说,“一些客户提出在沉积过程中能够在电脑屏幕上看到自己的晶圆和压板,因此我们设计了这个工具来与现有的k - Space软件无缝集成。因此,无论您运行的是kSA 400,kSA BandiT,kSA MOS还是kSA ICE,都可以使用此插件无缝查看压板和晶圆。”
 
客户可以使配件适应不同尺寸的视口,所包含的变焦镜头可以在较大的工作距离范围内进行对焦。实时视频可以放大或缩小,全分辨率彩色图像可以随时从k-Space软件中捕捉和存储。
 
 
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