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Fraunhofer IAF重振研究基础设施

2022/7/15 9:35:49      材料来源:化合物半导体

新的实验室大楼和MOCVD工厂将促进光电子学、量子技术和材料科学领域的活动
 
Fraunhofer IAF扩大了其最先进的研究基础设施,并进一步改善了开拓性半导体技术的发展条件。
 
在德国联邦政府、巴登-符腾堡州以及德国联邦国防部的支持下,该研究所建成了一座实验室大楼和MOCVD工厂,使它能够加强在光电子学、量子技术和材料科学领域的活动。新建筑的正式落成典礼已于2022年6月30日举行。
 
两座新的研究大楼为Fraunhofer应用固态物理研究所IAF的研究人员提供了继续开发基于尖端技术的化合物半导体的创新技术所需的设施。
 
凭借新的光电计量和量子传感实验室大楼以及新的MOCVD设备大厅,该研究所为其核心竞争力的持续战略发展奠定了基础。新建筑在能源效率、可持续性和建筑动力方面符合高标准。它们由德国联邦政府、巴登符腾堡州和德国联邦国防部(BMVg)提供资金资助,并于2022年6月30日正式落成。
 
研究基础设施负责人Martin Walther解释了新建筑对研究所的巨大好处:“新实验室为我们的科学家提供了更好的研究条件。尤其是量子传感和激光光谱应用实验室,显著扩大了与工业和研究领域合作伙伴的合作机会。
 
“新的MOCVD工厂还使我们能够扩大我们的外延设备园区,进一步提高材料质量和可重复性水平,同时确保显著提高运营效率。”
 
Fraunhofer IAF执行董事Rüdiger Quay也表示:“我很高兴这些建筑超出了德国Energieeinsparverordnung EnEV(节能条例)的要求,并采用了碳中和的建筑元素。这是我们计划到2030年与Fraunhofer-Gesellschaft一起实现气候中和的重要信号。”
 
新的实验室大楼总共有22个实验室,占地900m2,这些实验室是根据建筑动力学设计的,以使用高度振动敏感的设备。它们符合所谓的振动标准(VC)的振动限制线B和C,因此适用于例如放大倍率高达1000倍的显微镜或结构宽度分别为3和1µm的光刻和检测设备的操作。从长远来看,这确保了对越来越小的结构使用高要求的测量技术,并允许深入研究和开发量子传感器,例如扫描探针、宽场和激光阈值磁力计,以及基于激光的传感器技术和创新的半导体激光器。
 
新建的MOCVD工厂为五个最先进的系统提供了空间,这将使Fraunhofer IAF能够扩大特别是它在宽带隙半导体领域的外延活动。从主楼的洁净室搬来的四个现有系统与一个专门用于沉积高铝含量的AlGaN的新系统相连接。新设备的温度高达1400°C,这对晶体质量和均质性有积极影响。工厂的设备也具有优势,它具有自主再生处理系统,可实现更节能和可持续的制造流程。
 
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