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雅科贝思精密机电(上海)有限公司展出AFXS工作台

      材料来源:SEMI中国

展位号:E5-5473

产品特性:

1)用于晶圆、蓝宝石等检测,由Akribis高性能无铁芯直线电机驱动;

2)XY轴采用交叉滚柱导轨,中空结构,内置光栅系统,分辨率 50 nm,重复定位精度可达 ±0.75μm,绝对定位精度 2μm;

3)有效行程 70 * 70 mm,最大速度 200 mm/s;

4)可根据需求定制。


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