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业界动态 | Industry

深紫外光 LED 瞄准杀菌消毒应用

随着欧司朗光电半导体公司在深紫外光 LED (UV LED) 领域投入资源的增多，此类器
件是不是正在接近商品化？ -Rebecca Pool 问道。

虽 然长波长紫外光 LED 已经在全球范围内迅 UNIQUE 这个项目提供的技术和产品将会多得多。
Aprotec 公司准备制造长晶炉，而弗劳恩霍
速渗透到固化应用领域，但是专为杀菌消
毒设计的较短波长深紫外光 UV LED 则出现了停 夫集成系统和器件技术研究所将负责协调 AlN 晶
顿和下跌的态势。 体生长工艺流程。
在 315nm 至 400 nm 波长范围内发光的 UV-A Osram Opto 自身将开发 UVC LED 芯片及相
LED 是通过在蓝宝石衬底上生长基于 InGaN 的外 关联的外延生长和加工处理，Schott 公司将开发
延层来制造的，借助的是在可见光 LED 市场上使 迫切需要的真空气密型封装，而 UV LED 系统开
用的非常成熟的 MOCVD 方法。但是，深紫外光 发商 Dr Hönle AG 则将把 LED 模块集成到杀菌消
LED 则与此不同。 毒系统中。
这些 UV-C LED 的发光波长范围为 200 nm 至 如 Osram Opto 公司 UV-LED 研发部负责人
280nm，它们中的许多是由在蓝宝石晶圆上生长的 Hans-Juergen Lugauer 所宣称 ：“从 AlN 衬底生
AlN 层组成的，与应变有关的外延附生问题接踵 产和芯片制造到封装以及为终端用户提供最终成
而来，因而妨碍了制造进程。但是，变革已经开始。 品，我们将在巴伐利亚州为深紫外光 LED 及其相
由于 UV LED 市场已形成发展势头，因此诸 关产品建立必要的完整产业价值链。”
如德国的 CrystAL-N 以及都是来自美国的 Crystal Lugauer 预计，当项目结束时，AlN 晶圆将
IS 和 Hexatech 等 AlN 衬底制造商很快确定 ：原 不能为批量生产提供所需的数量，不过如他所述：
生的晶格匹配型晶圆将会采用这种现成的蓝宝石 “与 Hexatech 签署协议是一个独立的步骤，旨在
衬底的竞争方案。而且，器件制造商对此表示出 确保能够尽可能快地获得高质量的 AlN 晶圆。”
了极大的兴趣。
今 年 早 些 时 候， 德 国 欧 司 朗 光 电 半 导 晶圆面临两难的衬底选择
体（Osram Opto Semiconductors）公司与美国 现今，Osram Opto 为 UV LED 外延生长和芯
Hexatech 公司签署了一项长期许可协议，旨在加 片开发采用的是两英寸蓝宝石晶圆，并提供了一
快基于 HexaTech 的材料的 UV-C LED 器件开发。 个 AlN 缓冲层以释放晶格应力。然而，该公司的
就在不久前，这家 LED 制造商透露自己正在领导 研究人员已经忙于进行在 AlN 衬底上生长外延的
一个名为 UNIQUE 的项目，以开发用于工业杀菌 试验，而且相关工作将作为 UNIQUE 项目的一部
消毒流程的高功率 AlN 基 AlGaN UV LED，并实 分继续下去。
现其商品化。 Lugauer 强调说 ：“我们已经并行地展开了外
Osram Opto 得到了巴伐利亚州经济事务、媒 延试验，以做好准备当它们可大量供货时把所有
体、能源及技术部的支持，吸收了 5 家德国合作 工艺流程转移到 2 英寸晶圆。”
伙伴的加盟，并将建立必要的供应链以生产此类 作为其工作的一部分，Osram Opto 正采用
LED。Osram Opto 已经在其位于雷根斯堡的厂区 MOCVD 工艺制造用于深紫外光 LED 的 AlGaN 薄
部署了很多必要的工序，这得益于该公司在那里 膜。正如 Lugauer 指出的那样，AlN/ 蓝宝石模板
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进行了可见光 LED 和激光器的批量生产，不过， 上的位错密度目前在 10 /cm 左右，但是对于 AlN
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