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          业界动态










                                                 为 GaN 器件


                                                 批量生产亮起绿灯







                                                 在推出采用 200 mm CMOS 工艺的硅基 GaN 器件之
                                                 后,Exagan 和 X-Fab 准备将其投入批量生产,将在
                                                 一家 CMOS 晶圆厂生产硅基 GaN 器件。
                                                                               -Rebecca Pool 报道。













                                                           业    界合作伙伴 X-Fab 和 Exagan 采用 200 mm
                                                                CMOS 工艺生产了硅基 GaN 晶体管,实为
                                                           硅基 GaN 器件市场上的一次突破。
                                                               先是在 Exagan  位于法国格勒诺布尔的 200
                                                           mm 外延制造工厂进行了基片制作,随后在 X-Fab
                                                           设在德国德累斯顿的 CMOS 代工厂实施了器件加
                                                           工处理,目前则开始为首批客户提供 650 V G-FET
                                                           原型。
                                                               至关重要的是,旨在提升产量的计划已逐步
                                                           铺开,而且大批量生产也早就在两家公司关注的
                                                           视野当中。
                                                               Exagan 总裁兼首席执行官 Frédéric Dupont 强
                                                           调指出 :“我们率先转让了技术,并采用标准硅生
                                                           产设备和工序在一家 CMOS 晶圆厂以优质制造水
                                                           平在 200 mm 晶圆上生产了硅基 GaN 器件。重要
                                                           的是,我们已经在最具竞争力的晶圆尺寸上确立
                                                           了自己的技术和产品 ;并利用了成熟的 200 mm
                                                           CMOS 工艺和高生产率的制造环境。”
                                                               他补充道 :“一旦我们的产品在市场上获得
                                                           确认,我们将能够与 X-Fab 合作非常迅速地提高
                                                           产能。”
                                                               Exagan 的硅基 GaN 技术自上世纪 90 年代后
                                                           期以来一直在开发之中。


        6 6   化合物半导体                                                               www.compoundsemiconductorchina.net.compoundsemiconductorchina.net
                                                                                   www
              化合物半导体 2018年第1期 2018年第1期
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