Page 5 - CSC_issue1_2018_eMag.pdf

编者话 | Editor's Note
社长 Publisher
麦协林 Adonis Mak
adonism@actintl.com.hk
主编 Editor in Chief
赵雪芹 Sunnie Zhao
sunniez@actintl.com.hk
出版社 Publishing House
雅时国际商讯 ACT International
香港九龙 B,13/F, Por Yen Bldg,
长沙湾青山道478号 478 Castle Peak Road,
百欣大厦 Cheung Sha Wan,
13楼B室 Kowloon, Hong Kong
Tel: (852) 2838 6298
Fax: (852) 2838 2766
北京 Beijing
Tel/Fax: 86 10 64187252
上海 Shanghai
Tel: 86 21 62511200
Fax: 86 21 52410030
深圳 Shenzhen
Tel: 86 755 25988571
Fax: 86 755 25988567
武汉 Wuhan
Tel: 86 27 59233884
UK Office
Angel Business
Communications Ltd.
6 Bow Court,
Fletchworth Gate,
Burnsall Road, Coventry,
CV56SP, UK
Tel: +44 (0)1923 690200
Chief Operating Officer
Stephen Whitehurst
stephen.whitehurst@angelbc.com
Tel: +44 (0)2476 718970
© 2018 版权所有 翻印必究
www.compoundsemiconductorchina.net
中国打破 MOCVD 设备国外垄断
MOCVD（金属有机化合物气相沉积）设备是 LED 芯片外延生长的关键设备，
是 LED 产业的核心装备。长期以来，MOCVD 设备的制造技术一直掌握在德国、美国、
日本的几家公司手中，并对中国采取严格的技术封锁。德国 Aixtron 和美国的 Veeco
两家公司雄霸 MOCVD 设备市场，拥有超过 90% 的市场份额。过去我国所有 LED
生产用的 MOCVD 设备全部依赖进口，LED 产业的核心环节严重受制于人。
现在这种情况正在发生根本性转变，中国开始打破 Veeco-Aixtron 对
MOCVD 设备的垄断。
中微半导体设备公司（AMEC）经过多年的自主研发和不懈努力，终于实
现了 MOCVD 设备的国产化，打破了国外的垄断。中微开发的第二代超大型的
MOCVD 设备凭借部分比国外设备更先进的设计和更周到的客户服务，于最近一
年来成为国内市场上的主流产品，赢得大量本土客户。
IHS Markit 分析师 Jamie Fox 报告说 ：在 2016 年，AMEC 还只是一家小公
司，与两家巨头相比其发货量非常小，但是现在其发货量已经赶上了 Veeco。虽
然 2017 年全年 Veeco 的发货量仍然居前，但是下半年 AMEC 已经赶上甚至超过
了它。自 2016 年产品上市以来，到 2017 年底，AMEC 总发货已经达到 120 套。
除此之外，更加重要的是，MOCVD 设备急剧增长的需求仅仅是在中国市场，其
他地方几乎没有增长。未来几年情况也差不多，中国之外的市场将维持在非常低
的水平。因此，MOCVD 竞争的重点自然是中国市场。
AMEC 要跻身竞争激烈的 MOCVD 市场，挑战 Veeco 和 Aixtron 的长期统治
地位，自然不会一帆风顺。
首先，AMEC 遭遇了与 Veeco 的专利纷争。2017 年 4 月，Veeco 对德国 SGL
Group 提起了专利诉讼，指其侵犯了应用在 MOCVD 中的相关芯片托盘技术。控
诉 SGL 制造并销售某些芯片托盘给 Veeco 的竞争对手 AMEC，因而侵犯了 Veeco
的专利权。2017 年 11 月，纽约东区联邦地区法院同意 Veeco 的初步禁令动议，
禁止 SGL 出货未经 Veeco 授权而使用其专利技术生产的芯片托盘。此举可能会影
响 SGL 对 AMEC 的部件发货，最终对其产生不利影响。
2017 年 7 月，AMEC 在中国对 Veeco 上海公司提起专利侵讼，指其 MOCVD
系统侵犯了 AMEC 一项中国实用新型专利，该专利是关于化学气相沉积反应器
中的同步运动接合机制，诉讼寻求禁令救济和经济赔偿。2017 年 12 月，中国福
建高等法院裁定，禁止 Veeco 上海进口、制造、向任何第三方销售或许诺销售侵
犯 AMEC 专利的任何化学气相沉积装置和用于该装置的基片托盘。
双方你来我往，各有胜负。不过，在专利纠纷过程中，AMEC 公布了亮丽的
销售业绩，而且中国最大的 LED 制造公司——三安光电公开称赞 AMEC 的先进
设备和快速优质的支持服务。
那么， Aixtron 对于 AMEC 的竞争又是如何反应的呢？据报道，除了 GaN
LED 设备之外，Aixtron 正在加大力度生产用于不同材料的 MOCVD 设备，包括
功率半导体和 AlInGaP LED 设备。也许 Aixtron 开始接受 ：因为来自中国的竞争，
它可能不得不退出这个特定的市场。
AMEC 董事长兼 CEO 尹志尧博士表示 ：中微公司是一家创新性公司，专长
于为客户提供突破性的技术，从而提升我们客户的竞争优势。中微的产品因其独
特的创新性和价值在市场上获得成功。我们更愿意集中精力在创新产品的研发和
为客户提供优质服务上，而不是浪费时间和资源在法律诉讼上。因此，我们完全
愿意和 Veeco 达成有利于双方的解决方案并努力实现这一目标。
赵雪芹
化合物半导体 2018年第1期 3