图:AIX 2800G4-TM系统将用于生产基于GaAs和InP的外延晶片。
作为中国大功率半导体激光器的专家,Lumcore公司订购了Aixtron的AIX 2800G4-TM MOCVD系统。Lumcore董事长Xu Tianyou说:“Lumcore正在迈向公司发展的重要战略步骤,为了向全球客户提供优质的产品,我们需要可靠的合作伙伴以及出色的技术支持。”
Lumcore将使用AIX 2800G4-TM生产GaAs和InP半导体结构薄膜,用于制造如大功率激光二极管等的光电组件。
AIX 2800G4-TM系统具有石墨处理室和在高温下自动加载行星式基片的功能,可确保高通量和低颗粒数。高度的灵活性还使Lumcore能够根据要求生产2到8英寸的外延晶片。
Aixtron SE总裁Felix Grawert表示:“借助我们的行星反应技术,即使在要求非常高的量产条件下,我们也提供了令人信服的解决方案。它的标志是在低成本的情况下实现高生产效率和性能的提升。在面对不断增长但竞争日益激烈的大功率激光应用市场,例如消费电子,汽车和通信等领域,我们的用户就像是系统中生长的外延晶片一样已经做好了充分的准备。”
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