位于美国佛罗里达州圣彼得堡的Plasma-Therm LLC公司,主营业务是为特殊半导体和纳米技术市场提供等离子体蚀刻,沉积和先进封装设备。近日,该公司已收购了OEM公司的干法设备业务(OEM位于美国亚利桑那州凤凰城的,主要提供新的半导体改制设备,并针对新兴市场进行升级)。
通过收购,Plasma-Therm已获得了SFI Endeavor,AG Heatpulse,MRC Eclipse和Tegal品牌设备在OEM所有的许可证和知识产权。Plasma-Therm将通过备件和升级来继续支持现有客户,同时为更广阔的市场提供新的和翻新的工具。
“一直以来,Plasma-Therm的客户服务团队都备受赞誉,此次收购使他们有机会为全球的安装客户提供服务,” Plasma-Therm的首席执行官Abdul Lateef说,“此外,PVD和RTP技术与我们的蚀刻、沉积产品及工艺流程完美匹配,这将进一步满足客户对于制造和研发的需求。”
“PlasmaTherm对OEM产品的收购,为我们新开发的Endeavor M系列PVD平台打开了市场,也为MRC Eclipse,AG Heatpulse和Tegal产品提供持续性的支持,” OEM集团首席执行官Michael Correra评论道,“此次收购使OEM集团能够战略性地专注于我们的湿法化学工艺和离子注入技术。”
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