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Picosun推出适用于300mm晶圆的新型全自动高通量ALD生产模块Sprinter
材料来源：semiconductor-today
芬兰埃斯波的Picosun集团是为全球工业制造领域提供AGILE ALD（原子层沉积）薄膜涂层解决方案的供应商。现已推出Sprinter，一种试用于300mm晶圆的全自动化、高通量的ALD生产模块。阻挡层，高k介质膜和其他膜可以在Sprinter中均匀沉积，可应用于半导体（例如新兴存储器，晶体管，电容器），显示器和IoT组件应用。
在Sprinter中，在高可靠性和可重复性的快速批处理中，单晶片薄膜的质量和均匀性仍在不断升级。
以Al2O3为例，Picosun® Sprinter 上300mm硅晶片ALD批量处理过程数据（如有要求可提供更多的数据）
与常用于批处理ALD的立式炉反应器相比，Sprinter可以提供更高的膜质量和更低的热预算，因此它也适用于对温度敏感的设备。
与立式炉相比，Sprinter具有更快的处理速度和较小的处理量，从而在不牺牲产量的情况下提供了更大的生产灵活性和最小化的风险。
Sprinter的核心是其反应室的颠覆性设计，其中完全层流的前驱体流动确保了完美的ALD沉积，而没有寄生CVD的生长，这样可以最大程度地减少对系统维护的需求。
Picosun集团首席执行官Jussi Rautee说：“ Picosun Sprinter挑战了适用于300mm晶圆的批量ALD制造技术。我们很高兴地向300mm半导体市场的新老客户介绍该产品，并为他们提供具有颠覆性的批量ALD制造技术。”
经SEMI S2 / S8认证的Picosun Sprinter模块可以集成到客户的生产线或集群中，也适用于单晶圆生产线，因为它不会干扰工艺流程。Sprinter与Picosun的新型专有PicoOS操作系统和过程控制软件一起运行。
图：Picosun推出适用于300mm晶圆的新型全自动高通量ALD生产模块Sprinter
“与Sprinter一起，我们还将发布PicoOS操作系统，” Rautee继续说道。“由内部团队开发的操作系统和过程控制软件，为客户提供最高级别的控制精度和准确性，最快的服务时间以及最佳的用户体验。”
全栈PicoOS软件通过一个统一且已操作的图形HMI，对Picosun ALD设备（独立系统或完整生产集群）进行控制，操作和配置，从而确保通过SECS / GEM在系统和客户工厂自动化之间平稳过渡。
Sprinter可在Picosun设备上进行过程演示。Sprinter模块的销售于1月开始，具有几个ALD模块，中央真空晶圆处理单元和EFEM的完整Sprinter集群将于2021年春季晚些时候上市。
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