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Tower公司开发硅上集成激光光子代工工艺

Tower 半导体有限公司在以色列Migdal Haemek，加利福尼亚州Newport Beach和德克萨斯州Antonio的美国子公司以及TowerJazz 日本有限公司设有制造厂。在美国国防高级研究计划署( DARPA )的支持下，Tower正在参与 “通用微型光学系统激光器”( LUMOS ) 项目，将Ⅲ-Ⅴ族激光二极管与其PH18生产硅光子学平台相结合，创造一种集成硅上激光光子学代工工艺。

待时机成熟时，多项目晶圆（MPW）的运行将与新工艺配合调试。工艺设计包（PDK）的初始版预计在2021年发布，包括激光和放大器模块。

Tower表示，在硅上进行激光集成的好处包括：增加激光器的密度，减少激光器与光子之间的耦合损耗，减少所需的组件以及简化封装方案。据推测，当与无源和有源硅光子学元件结合使用时，例如硅和氮化硅波导，马赫-曾德尔调制器( MZM )和锗（Ge）光电二极管，这种联合集成将使目前尚无法批量生产的半导体或光子新产品成为可能。

这一过程将成为DARPA LUMOS计划的一部分，旨在将高性能激光器引入先进的光子学平台，以满足商业和国防应用的需求。

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