Axcelis 推出 SiC 注入机系列

扩大在亚洲和欧洲功率器件市场的足迹

总部位于美国的离子注入解决方案供应商 Axcelis Technologies 已宣布，向位于亚洲和欧洲的几家领先的功率器件芯片制造商发货该公司全系列的 Purion SiC 功率系列注入机。

发货包括 Purion H200 Power 系列 SiC 高电流注入机和 Purion M Power 系列 SiC 注入机的后续订单，以及 Purion XE Power 系列 SiC 高能注入机，这是新客户的新评估工具。这些系统于第三季度发货，将用于支持汽车、移动和物联网市场的 SiC 功率器件的大批量生产。

产品开发执行副总裁 Bill Bintz 评论道：“汽车行业电气化的增长势头正在推动对 SiC 功率器件的强劲需求，而 Axcelis 是唯一一家拥有完整的离子注入机系列来支持这种转变的公司。由于 Purion SiC 功率系列平台的通用和灵活架构，加上其高度差异化的碳化硅工艺能力，我们在功率器件市场的领先地位持续增长。我们期待通过提供创新的、以细分市场为重点的产品来解决客户高价值、高影响的新兴植入挑战，从而支持客户提高功率器件性能和扩大制造能力的目标。”

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