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AIXTRON新的研发中心接收首台干床吸收设备

     

AIXTRON新的研发中心接收首台干床吸收设备

Aixtron SE为其新的研发中心选择CS Clean Systems干床吸收设备。11CLEANSORB废气处理系统将用于位于德国和中国Aixtron研发中心的MOCVD设备和工艺。



  

CLEANSORB干床吸收设备CS200PS PRIMELINE系列具备可再充CLEANSORB

总共有11CLEANSORB CS200SC型设备安装在了德国亚琛DornkaulAixtron研发研发中心,以及中国苏州工业园区(SIP)新的培训设施中。苏州培训中心是Aixtron与久负盛名的苏州纳米技术和纳米仿生研究所(SINANO)建立的合资企业。

在构建和运行后,CLEANSORB干床吸收设备将由设在上海的CS CLEAN SYSTEMS(中国)办事处提供直接服务。

对用于MOCVD生长和III-V族外延结构刻蚀的气体和液体有机金属前体来说,在毒性、自燃和腐蚀性方面非常关键。CLEANSORB干化学吸收技术不使用活性炭或其他可燃材料。通过室温下的干化学反应,有害气体被转换为稳定的固体副产品,无需加热或产生污染废水。

密封的CLEANSORB吸收柱设计可确保MOCVD用户绝不会接触到有毒的MOCVD副产品。在吸收寿命结束时,CLEANSORB柱返回到本机CS Clean Systems服务合作伙伴进行维护。在翻新和再充新鲜化学吸收剂后,再将吸收柱运回给客户进一步使用。

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