据“平湖新埭”公众号消息,近日,晶驰机电半导体材料装备研发生产项目投产仪式在新埭镇举行,晶驰机电首台MPCVD设备交付。
据悉,晶驰机电(嘉兴)有限公司成立于2023年,主要从事碳化硅、金刚石、氮化铝等第三代、第四代半导体设备的研发、生产和销售。公司分别与浙江大学杭州国际创新中心、杭州电子科技大学共建联合实验室。目前公司产品包括6英寸水平进气和8英寸垂直进气碳化硅外延设备(LPCVD法),金刚石晶体生长设备(MPCVD法),氮化铝晶体生长设备,碳化硅源粉合成炉,碳化硅晶体生长设备(PVT法),氧化镓单晶生长炉(导模法、CZ法),各种晶体和晶片热处理炉。达产后预计实现年产值1.4亿元。
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