总投资超50亿元，全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线投产

据中电二公司官微消息，近日，中国蚌埠传感谷8英寸MEMS晶圆生产线EPC项目首批产品成功下线，标志着全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线、全国首条工艺设备配套齐全的压电MEMS量产线正式投产。

据悉，华鑫微纳8英寸MEMS晶圆生产线项目由安徽华鑫微纳集成电路有限公司投资建设，总建设投资达50.6亿元，占地约79亩，总建筑面积约6万平方米，定位为国内领先的8英寸MEMS晶圆代工企业以及国内领先的“开放式、定制化MEMS代工平台基地”。

作为国家级重点项目、全部建成投产后，将具备月产3万片晶圆的能力，成为国内产出最大的MEMS全自动晶圆生产线。

【杂志订阅】

首发专享，限时免费！《GaN》电子专刊第二期上线！立即扫码订阅：https://www.sbs-mag.com/subscribe_active.html?invitation_code=active202507&name=CSC