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甬江实验室信息材料与微纳器件制备平台正式投用

2025/1/3 9:40:51 材料来源：甬江实验室官微

据甬江实验室官微消息，12月30日，甬江实验室信息材料与微纳器件制备平台（以下简称“微纳平台”）举行研发线运行仪式。

据悉，微纳平台是甬江实验室在电子信息材料与器件领域布局建设的重要公共科研支撑服务平台，也是甬江实验室迄今为止投入最大的平台。平台聚焦“芯片异构集成”与“微纳光学”两大方向，围绕高速通讯、元宇宙、自动驾驶和智能机器人等未来产业所需的核心半导体制造技术，提供从光电芯片材料生长、器件制备、模组开发到检测验证全流程前沿工艺技术开发，以及先进的验证手段和系统的解决方案，致力于成为支撑前沿科技创新、引领微纳制造共性技术、赋能产研生态的开放、共享型科创服务平台。

微纳平台现已聚集48位高水平科研和管理人员，拥有一流的基础设施、先进的制程工艺，已建成6英寸研发线和8英寸验证线各一条，配备了165台（套）高端精密设备，为集成电路领域产业提供高效先进的检验验证和系统解决方案。此次投用的正是6英寸研发线，8英寸验证线有望在2025年上半年投用。

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