ASML和imec签署战略合作协议

3月11日，ASML和比利时微电子研究中心（Imec）宣布签署新的战略合作伙伴协议，重点关注半导体研究与可持续创新。该协议为期五年，旨在开发推动半导体行业发展的解决方案，并制定以可持续创新为重点的计划。根据声明，双方的研发重点领域将涉及硅光子学、存储器和先进封装等。

一、合作协议的核心内容

当地时间3月11日，荷兰光刻机巨头ASML与比利时纳米电子和微电子研究中心Imec共同宣布，双方签署了一项为期五年的新战略合作协议，重点聚焦半导体研究与可持续创新。此次合作旨在通过整合ASML和Imec各自的知识与专长，在两个关键领域提供有价值的解决方案。其一，开发推动半导体行业发展的创新方案；其二，制定以可持续创新为核心的计划。根据协议内容，双方的合作整合了ASML的全产品组合，主要致力于高端节点的开发，所使用的ASML系统涵盖0.55NA EUV、0.33NA EUV、DUV浸没、YieldStar光学计量以及HMI单光束和多光束技术。这些先进工具将安装在Imec的顶尖试验线中，并被纳入由欧盟和比利时政府资助的NanoIC试验线，为国际半导体生态系统提供领先的2nm以下研发基础设施。双方研发的重点领域包括硅光子学、存储器以及先进封装等，旨在为未来基于半导体的人工智能应用，在多元化市场中实现全栈创新。此外，此次合作还涉足一个全新领域，即对Imec研究渠道中的创新理念和活动给予重大资助，这些理念和行动能带来环境和社会效益。 

二、合作双方的表态及资金支持情况

ASML总裁兼首席执行官christophe Fouquet表示：“这项协议标志着ASML和Imec长期合作的新进展。它体现了我们共同为半导体行业开发解决方案的坚定承诺，也与我们投资技术和创新以惠及全社会的战略相符。”Imec总裁兼首席执行官Luc Van den hove称：“我们非常高兴能延续与ASML长达30多年的独特合作关系，持续为行业提供最先进的图案化解决方案。ASML完整的产品组合有助于我们扩大并进一步完善试点生产线的能力，为整个半导体生态系统提供前沿的研发支持，以应对人工智能驱动的技术进步带来的挑战。鉴于Imec对可持续创新的高度重视，将其明确纳入合作关系是非常有益的补充。”ASML对此次伙伴关系的投资，得到了芯片联合企业、比利时Flemish政府（用于落实欧盟芯片法案NanoIC试点线）以及荷兰政府（作为欧洲共同利益的重要项目）提供的资金支持。

NanoIC试验线的收购与运营，由芯片联合企业、欧盟的数字欧洲（10118366）和地平线欧洲计划（101183277），以及比利时（Flemish政府）、法国、德国、芬兰、爱尔兰和罗马尼亚等参与国共同出资。在Imec提供0.55NA技术，属于荷兰政府资助的Next Gen - 7A项目（IPCEI22201）的一部分，该项目是欧洲共同利益的重要项目（IPCE）。

 

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