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复旦大学先进光刻胶材料教育部工程研究中心正式成立

2025/4/27 9:29:28      材料来源:复旦大学微电子学院官微

据复旦大学微电子学院官微消息,4月23日,复旦大学先进光刻胶材料教育部工程研究中心正式揭牌成立。该中心的成立是复旦大学服务国家重大战略需求、推动产学研深度融合的重要举措,旨在攻克高端光刻胶材料的“卡脖子”技术难题,助力我国集成电路产业迈向全球价值链高端。
复旦大学副校长姜育强调,复旦大学整合校内集成电路、化学、高分子、材料等多学科优势力量,成立这一研究中心,是学校在“教育强国打头阵,自主创新当尖兵”使命下的重要实践。希望中心聚焦光刻胶材料“从实验室到生产线”的工程化难题,加速国产高端光刻胶的自主可控进程,为国内芯片制造企业提供稳定可靠的工艺技术与材料研究支撑。
工程中心主任伍强教授提出“设计-基础设施协同优化(DICO)”技术总路线,并分享了关键研究案例。他表示,中心将秉持“开放协同”理念,联合产学研力量推动技术转化,为中国集成电路产业高质量发展注入新动能。
 
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