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安徽北方微电子研究院实现高端光通信芯片量产工艺突破

2026/5/22 9:13:47

据蚌埠经开区管委会官微消息，近日，安徽北方微电子研究院集团有限公司在MEMS-OCS阵列微镜芯片的微纳工艺集成制造技术上取得重大突破，成功攻克了一系列技术难题，掌握了MEMS-OCS阵列微镜芯片量产制造工艺，为我国高端光通信核心芯片国产化替代筑牢了产业底座。

相关负责人表示，此次技术突破主要围绕256端口、1024端口阵列微镜芯片的研制需求展开，重点攻克了微纳结构精密刻蚀、低应力薄膜生长、高深宽比结构成型、高精度对准键合、高反射率镜面制备、晶圆级一体化等核心工艺难题，形成了完备的自主工艺规范与技术成果体系。

通过这一工艺产出的芯片，具备响应速度快、偏转精度高、插入损耗低、通道隔离度优、长期稳定性强等突出优势，能够全面适配OCS 光电路交换、ROADM 可重构光分插、数据中心全光交换、光路保护倒换等各类光通信应用场景。

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