自超大规模集成电路(VLSI)硅 CMOS 技术诞生以来,其射频(RF)和毫米波性能在不断追求更小的栅极尺寸和更高器件密度的过程中 一直处于次要地位。填补这一空白的是多种化合物半导体,例如砷化镓(GaAs)、氮化镓(GaN)和磷化铟(InP),它们在更高的频率 下提供高增益和高输出功率。得益于这些器件,人们得以构建固态相控阵雷达、5G/6G 基站和量子计算机。然而,这些应用在生态系统中 面临着诸多挑战,许多人可能认为“异质”材料是一个问题,它会减缓并限制其采用。与硅 CMOS 相比,化合物半导体器件的制造时间 通常要长一倍,单位面积的成本要高出 5 到 10 倍,因为它们缺乏高量产带来的基本经济优势。一个吸引人的解决方案是异质集成。
自超大规模集成电路(VLSI)硅 CMOS 技术诞生以来,其射频(RF)和毫米波性能在不断追求更小的栅极尺寸和更高器件密度的过程中 一直处于次要地位。填补这一空白的是多种化合物半导体,例如砷化镓(GaAs)、氮化镓(GaN)和磷化铟(InP),它们在更高的频率 下提供高增益和高输出功率。得益于这些器件,人们得以构建固态相控阵雷达、5G/6G 基站和量子计算机。然而,这些应用在生态系统中 面临着诸多挑战,许多人可能认为“异质”材料是一个问题,它会减缓并限制其采用。与硅 CMOS 相比,化合物半导体器件的制造时间 通常要长一倍,单位面积的成本要高出 5 到 10 倍,因为它们缺乏高量产带来的基本经济优势。一个吸引人的解决方案是异质集成。